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潔凈室及潔凈棚的潔凈度如何檢測？

日期：2021-01-18 14:46 瀏覽次數(shù)：
潔凈室及潔凈棚的潔凈度如何檢測？
 
潔凈棚和無塵室工程的檢測根據(jù)被檢測面積規(guī)定的采樣點(diǎn)數(shù)參考下表1。

l 檢測位置定義為距離地面800mm~1200mm高度。
 

l 參考標(biāo)準(zhǔn)：ISO14644（美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E）或按設(shè)計要求。潔凈等級具體可分1級、10級、100級、1000級、10000級和100000級。
l 微粒允許值：
檢測儀器：CEMDF-9881粒子計數(shù)器。

潔凈度檢測也可以通過有規(guī)律掃描檢測的方式來獲取數(shù)據(jù)，如遇到數(shù)據(jù)波動異常的點(diǎn)，再通過定點(diǎn)詳細(xì)檢測的方法來獲取數(shù)據(jù)。
 
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