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組裝式潔凈室在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

日期：2020-06-11 08:50 瀏覽次數(shù)：
我們上篇文章講到當(dāng)前的半導(dǎo)體行業(yè)收到美國(guó)的管制限制，舉步維艱。說(shuō)回到半導(dǎo)體與潔凈室之間的關(guān)系，為什么半導(dǎo)體、芯片生產(chǎn)需在潔凈室內(nèi)生產(chǎn)呢？由于半導(dǎo)體工業(yè)所制作的積體電路元件尺寸越來(lái)越小，眾多元件集中在一塊小小的晶片之上，因此在生產(chǎn)過(guò)程中需要阻斷外界各種污染源，因?yàn)檫@些雜質(zhì)、污染源會(huì)造成元件性能的劣化及可靠度降低，導(dǎo)致芯片良率下降，所以在半導(dǎo)體芯片的制作過(guò)程中需要在一個(gè)潔凈度管控的環(huán)境之中。
 
那么，潔凈室是如何隔斷污染源，確保半導(dǎo)體的生產(chǎn)環(huán)境是潔凈的呢？下面我們因組裝式潔凈室為例為您具體介紹分析。

 
半導(dǎo)體在生產(chǎn)過(guò)程中大的污染源就是從潔凈室外部進(jìn)入潔凈室內(nèi)的人流與物流污染，所以組裝式潔凈室在進(jìn)口處配備了風(fēng)淋室。風(fēng)淋室的作用是去除人員及貨物上的塵埃顆粒、毛屑等污染源，組裝式潔凈室內(nèi)部安裝了FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組，進(jìn)行潔凈新風(fēng)的輸送。這兩大硬件凈化設(shè)備一為組裝式潔凈室阻絕了污染源，二為組裝式潔凈室提供了潔凈空氣，可以說(shuō)是組裝式潔凈室的主要構(gòu)成。
 
在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)規(guī)程中、機(jī)器的運(yùn)轉(zhuǎn)，人員的走動(dòng)也會(huì)產(chǎn)生或帶動(dòng)污染物的流轉(zhuǎn)，組裝式潔凈室還要設(shè)計(jì)一定的氣流組織確保被污染的空氣不會(huì)向潔凈區(qū)流轉(zhuǎn)。組裝式潔凈室的風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組布置在頂棚，空氣斷面上的流速比較均勻，而使氣流流向單向平行，靠推出的作用將室內(nèi)臟空氣沿整個(gè)斷面排至架空地板或側(cè)墻下部設(shè)的回風(fēng)口再回至循環(huán)風(fēng)機(jī)，這種上送下回或上送下側(cè)回的氣流流型可以使污染空氣快速排出室外而不會(huì)交叉污染到組裝式潔凈室內(nèi)其它工作區(qū)域。
 
另外，組裝式潔凈室的智能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)與傳統(tǒng)潔凈室相比在潔凈度維護(hù)上面更為簡(jiǎn)便智能。組裝式潔凈室內(nèi)安裝的傳感器將檢測(cè)數(shù)值直接以數(shù)字形式顯示在智能控制屏上，智能系統(tǒng)控制會(huì)判斷塵埃顆粒及溫濕度是否在標(biāo)準(zhǔn)范圍之內(nèi)，超出則會(huì)控制FFU、空調(diào)等設(shè)備進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)，使之恢復(fù)到規(guī)定范圍之內(nèi)。
經(jīng)過(guò)以上介紹，相信你已經(jīng)對(duì)組裝式潔凈室與半導(dǎo)體行業(yè)的相互關(guān)系有了一定的了解。中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)目前正在遭受沖擊，這也從側(cè)面反映了技術(shù)與設(shè)計(jì)的重要性，中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)還有很長(zhǎng)的路要走。組裝式潔凈室與半導(dǎo)體息息相關(guān)，榮辱與共，未來(lái)也將攜手為伍，一起突破前路上的艱難險(xiǎn)阻，臨難不避，贏得未來(lái)！
 
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